電子顯微鏡的分類介紹與保養(yǎng)
電子顯微鏡的分類介紹與保養(yǎng)
1. 透射電子顯微鏡 (TEM)
樣品必須制成厚度為100-2000?那可以穿透電子。成像方法類似于光學生物顯微鏡,不同之處在于使用電子鏡頭代替玻璃鏡頭。放大的電子圖像顯示在熒光屏上。圖1 透射電子顯微鏡光路示意圖是其光路示意圖。 TEM的分辨能力可達3?左右。特殊情況下可以更高。
(1) 超高壓電子顯微鏡(HVEM)是TEM的一種,但常用的TEM加速電壓為100 kV。它只能穿透幾千埃厚的樣品。電子的穿透力隨著 b2 = v2/c2(電子速度與光速之比)而增加。由于相對論效應(yīng),b2 在 500 kV 以上增加非常緩慢。目前商用的電子顯微鏡有200 kV、300 kV和1000 kV。法國和日本有3000kV專用電子顯微鏡。 HVEM 除加速管外與一般 TEM 相似,但尺寸放大。 1000 kV 電子顯微鏡有兩層。尺寸放大后,樣品周圍空間擴大,方便放置各種處理樣品的附件,如拉伸、加熱、冷卻、化學反應(yīng)等輔助部件,并可與樣品組合傾斜的樣品臺;也可用于動態(tài)觀察,用電視記錄樣品處理過程中的變化。高能電子會在樣品中引起輻射損傷,這給研究材料輻射損傷的微觀機制帶來了的便利。
(2)高分辨電子顯微鏡(HREM)提高加速電壓,縮短電子波長,提高分辨能力。由于技術(shù)難度高,特高壓電子顯微鏡在1970年代初期主要是為了提高穿透率。從 1970 年代末到 80 年代初,技術(shù)進步帶來了 200 kV 和 300 kV 的高分辨率商用電子顯微鏡以及 500 kV、600 kV 和 1000 kV 的單獨 HREM。分辨力可達2?左右。會達到1.5嗎?很快。由于生物分子容易受到輻射損傷,目前HREM主要用于觀察無機材料中原子的排列。
2. 掃描電子顯微鏡 (SEM)
主要用于直接觀察固體表面的形貌。其原理如圖2所示。掃描電鏡原理圖。先用電子透鏡把一個電子束光斑縮小到幾十埃,再用偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)使電子束射在樣品表面進行光柵掃描。電子束激發(fā)所到之處的二次電子,經(jīng)探測器采集后成為信號,調(diào)制同步掃描顯像管的亮度,顯示圖像。樣品表面的凹凸不平導(dǎo)致一些部分面向二次電子檢測器,而另一些部分則背對著檢測器。從面向探測器的部分發(fā)射的二次電子被大量收集并顯得明亮,反之則顯得暗,從而產(chǎn)生正像和三維圖像。圖像的放大倍數(shù)是顯像管掃描幅度與樣品上表面電子束掃描幅度的比值。 SEM 的分辨能力略大于電子束光斑的直徑。目前,掃描電鏡的分辨能力可以達到60?。
3. 掃描透射電子顯微鏡 (STEM)
成像方式與掃描電鏡類似,但不是接收二次電子,而是接收透射電子(包括一些小角度散射電子)。樣品也必須是薄膜,STEM 的分辨能力相當于電子束光斑的直徑。 STEM專用高亮度場發(fā)射電子槍(要求10-10托超高真空)。分辨力可達3?。使用此 STEM,已觀察到輕元素在薄膜上支持單個重原子。其微小的電子束斑可用于晶體結(jié)構(gòu)分析(通過電子衍射)和成分分析(通過電子衍射)和成分分析(通過標記X射線或電子能量的電子束激發(fā))對實際工作尤為重要。損失)。光譜)。目前的商用TEM可以配備STEM配件,但由于沒有高亮度場發(fā)射槍,束斑只能降低到幾十埃??稍?00Ω左右的范圍內(nèi)進行結(jié)構(gòu)和成分分析。能邊觀察顯微圖像邊對其任何微小部分進行上述分析的電子顯微鏡,稱為“分析電子顯微鏡"。
透射電子顯微鏡保養(yǎng):
透射電子顯微鏡日常維護注意事項
1、經(jīng)常開機使用,以便隨時掌握儀器的工作情況,并隨時注意觀察圖像、光、聲、真空、氣壓和功率的變化供應(yīng)應(yīng)及時調(diào)整并記錄。經(jīng)過很長一段時間,你肯定會積累很多經(jīng)驗。
2.注意空氣濕度,防止鼠標濺出,電壓要穩(wěn)定,氣體要清潔干燥,防止小樣品掉入,特別是細小顆粒、粉末,防止碰撞
3、監(jiān)測電子槍中的氟利昂是否減少,監(jiān)測機械泵中的油是否已經(jīng)降到水平線以下,空壓機經(jīng)常放空,循環(huán)水裝置中的水要定期更換,室內(nèi)濕度保持在40~70%,溫度保持在40~70%。15~25度。對于電子顯微鏡的維修,一要技術(shù)水平高,一要有興趣,二要精通,主要是實用技能,靈活運用高超的綜合知識。同時,它必須依靠經(jīng)驗的積累,也就是學習電子學。那些學習的人具有管理電子顯微鏡的實際能力。
4、回轉(zhuǎn)泵所用真空油有條件每年更換一次。臟油的速度主要與實驗室的清潔度和濕度有關(guān)。電子顯微鏡即使在不使用時也會開啟。它每天抽真空,電路每隔一兩天通電一次。學校假期每周開放兩天,尤其是在夏季,當暑假結(jié)束時學校會放假。